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真空用金属密封圈
发布时间:2014-05-29        浏览次数:435        返回列表


金属密封圈密封的可拆卸联接是超高真空系统中常用的联接形式。它是为满足超高真空要求而必须经200~400℃的高温烘烤除气而采用的密封方式。

  常用的金属密封圈的材料有金丝和无氧铜两种,它们呢有下列一些性能:

  金(AU)具有高的化学稳定性,高温时不氧化,塑性好,屈服极限比铜或铝低一倍,在较小的夹紧力下即可产生塑性变形,膨胀系数为ag=14×10-6cm/cm.℃,比不锈钢的膨胀系数as=14×10-6cm/cm.℃稍低。金制密封圈虽有良好的密封性能,但在夹紧力的作用下会发生显著的变化硬度,强度增加,为了保证密封圈密封,必须增大夹紧力,而过大的夹紧力又会在法兰表面上引起压痕,影响密封性能。因此,用在要求较高而不经常装拆的联接,拆开后重新装配时需更换密封圈。由于金的价格比较贵,它的应用受到较大的限制。

  铜(Cu)的热膨胀系数为ac=16.4×10-6cm/cm.℃。铜的硬度比较大,铜制密封圈在使用钱必须在真空中或氢气中进行退火处理,消除内应力。无氧铜是目前超高真空密封联接中常用的密封圈材料。其不足之处是高温烘烤中与大气接触部分会氧化,因此,在要求高的情况下,将无氧铜密封圈表面镀一层金,使其具有更好的密封性能。

  作为联接用的法兰盘材料也必须能承受高温烘烤、抗氧化以及在高温时仍有良好的力学性能。最常用的材料是不锈钢。法兰密封表面的粗糙度和尺寸精度均应满足超高真空密封的要求。